cq9电子官网2021华夏MEMS10强企业附23条MEMS出产线汇总！

　　10月27日，2021韶华夏MEMS创造大会（China MEMS）在姑苏进行，这是今朝华夏MEMS行业最具浸染力的大会，由华夏独一的MEMS行业构造——华夏半导体行业协会MEMS分会结合微纳创造中试平台、中科院纳米所等进行，本年仍旧第三届。

　　会上，进行了“2020韶华夏半导体MEMS十强企业”授奖典礼，颁布发表了上一年度海内优异的MEMS企业十强名单，该名单是今朝海内最权势巨子的MEMS企业名录，代表此刻华夏MEMS范畴气力最强的10家头部企业。

　　歌尔微电子创办于2001年6月，2008年5月在厚交所上市，首要聚焦MEMS话筒及模组、智能传感器及模组、SiP封装等相干营业，用心于MEMS相干产物的自立研发计算与创造，其产物已普遍利用于智妙手机、无线耳机、智能穿着、智能家居、无人机及汽车电子等范畴。

　　《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，华夏微型话筒代表性企业，在微型话筒范畴，墟市据有率居天下同业业之首。据Yole Ddaytimelopment 《202年MEMS财产近况陈述》显现，歌尔在2020年环球MEMS厂商营收排名中升至第六位，继客岁初次跻身前十后，仅用一年工夫排名升至第六，也是前十名中唯逐一家华夏企业，陈述还指出，在MEMS话筒方面，歌尔15年来初次跨越楼氏电子成为行业第一。

　　上市企业，上半年市值约1351亿元，2021上半年营收302.88亿元，同比增加94.49%；上半年净成本17.31亿元，同比增加121.71%

　　瑞声科技控股无限公司为智能装备供给抢先的微型私有手艺办理计划，在声学、光学、触觉反应、紧密创造、微电机、无线射频和天线范畴具有资料研发、仿真、算法、计算、主动化和工艺开辟等顶端手艺。

　　团体在计算和多量量高紧密创造方面有近三十年经历，《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，华夏电声元器件代表性企业，环球闻名的电声元器件创造商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS话筒范畴，划分被工信部认定为我国创造业单项冠军树模企业。现已成为环球抢先的同业、IT及破费电子墟市微型元器件团体计划供货商。

　　港股上市企业，上半年市值约316.94亿元，2021上半年营收86亿港元，同比增加9.90%；上半年净成本9.21万港元，同比增加187.40%

　　华润微电子是2002韶华润团体收买华晶团体改选而成，是抢先的半导体和智能传感器供给商，总部位于无锡，具有3条6英寸线，此中MEMS产线是海内范围最大的与CMOS出产线兼容的MEMS传感度量产出产线，拥有海内抢先程度的 MEMS 外表和体硅加工手艺，用于创造压力、硅话筒、光电、温湿度等MEMS传感器。

　　华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩大已终了，并到场利用。光电及MEMS话筒工艺平台从6英寸进级到8英寸，杀青批量出产，产物机能及良率程度优异；团体晋升了其MEMS工艺手艺程度和合作才能。

　　上市企业，上半年市值约908.9亿元，2021上半年营收44.55亿元，同比增加45.44%；上半年净成本10.68亿元，同比增加164.86%

　　姑苏敏芯微电子手艺股分无限公司创办于2007年9月，是一家业余处置微电子死板体例传感器研发计算的高新手艺企业，公司总部在姑苏产业园区，并在姑苏产业园区、昆山设有传感器产物创造工场。

　　今朝，凭仗自立常识产权的芯片计算，并与国际知名着名Fab厂和封装厂互助，终了了公司产物的研发与财产化，并鼓动了MEMS高低流财产链的成长。公司三大产物线划分为MEMS话筒、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，利用处景涵盖了破费电子、调理、产业掌握和汽车电子等范畴。

　　《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，EET电子工程专辑（华夏）2021韶华夏传感器公司TOP10之一。敏芯行为华夏开始创办的MEMS研发公司之一，现已具有完备的芯片计算、晶圆创造、封装与尝试等全财产链的自立研发计算才能，凭仗完整自立计算的MEMS芯片与ASIC芯片凯旋突破了外洋厂商持久掌管的格式，为MEMS全财产链的国产化摸索了一条完备的门路。

　　上市企业，上半年市值约51.55亿元，2021上半年营收1.87亿元，同比增加40.17%；净成本1021.77万元，同比增加⑷0.05%

　　华夏电子科技团体第十三研讨所全资子公司，华夏MEMS行业协会理事长单元，特地努力于MEMS（微电子死板体例）器件与体例的研发、出产和发卖。延续多年荣获“华夏半导体MEMS十强企业”，是海内最大的MEMS焦点芯片、器件和体例产物供给商，华夏MEMS手艺带领者。

　　《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，华夏MEMS传感器代表性企业，EET电子工程专辑（华夏）2021韶华夏传感器公司TOP10之一。超过对方的有利形势产物包罗MEMS惯性器件与体例、MEMS传感器、汽车传感器、压力传感器、射频（RF）MEMS器件等，产物普遍利用于航空航天、高铁、汽车、主动驾驭、通讯、地动监测、物联网、聪明乡村、智能家电等范畴。

　　2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS尺度加工手艺及在高机能MEMS 器件中的利用”经过科技部构造的老手查收，用于MEMS陀螺仪、加快率计、震动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线 美新半导体（天津）无限公司

　　美新半导体（MEMSIC）是环球抢先的惯性MEMS传感器及办理计划供给商，于1999年景立, 今朝总部位于华夏天津，在美国圣何塞和华夏无锡、上海、深圳、台北设有研发机构，在华夏无锡、上海具有创造和封测工场，发卖及手艺撑持收集广泛亚太，北美，欧洲，非洲和中东等地域。

　　《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，华夏惯性传感器代表性企业，EET电子工程专辑（华夏）2021韶华夏传感器公司TOP10之一，原初开辟了鉴于尺度CMOS过程的微电机体例和环球抢先的创造工艺和尝试手艺，凯旋研收回30多种型号的加快率传感器、磁传感器等产物。

　　2007年在NASDAQ上市，是环球第一家MEMS上市公司。2020年，美新取得mCube绝版受权其一切惯性传感器芯片手艺，周全结构电容式加快率计和陀螺仪范畴。比来终了10亿软妹币A轮融资，海内最大的MEMS惯性传感器公司，具有特点工艺MEMS出产线 姑苏纳芯微电子股分无限公司

　　姑苏纳芯微电子是高机能高靠得住性摹拟芯片的研发计算企业。公司自2013年景立今后，用心于环绕各个利用处景停止产物开辟，由传感器旌旗灯号调度ASIC芯片动身，上前后端拓展了集成式传感器芯片、断绝与接口芯片、启动与采样芯片，构成了旌旗灯号感知、体例互联与功率启动的产物结构。

　　在夹杂旌旗灯号处置、高耐压数字断绝、集成式传感器计算等范畴具有自力常识产权和富厚手艺储蓄，产物已行为新动力汽车、产业主动化等利用的关头芯片，凯旋加入多个行业一线客户的供给系统并杀青大范围量产。同时公司连续加大各利用处景的产物研发，产物被普遍利用于海内着名品牌客户，涵盖音讯通信、产业掌握、汽车电子和破费电子等范畴。

　　上海矽睿科技无限公司创办于2012年9月，用心于MEMS智能传感器营业，计算和出产优良传感器产物，并为客户供给响应的智能利用计划和办事。

　　矽睿科技具有完整自立常识产权，请求并凯旋受权70余项国际知名海内发现专利，专利拉拢笼盖MEMS工艺制程、传感器计算和ASIC计算、算法和体例利用运用软件等。《华夏传感器成长蓝皮书》首批36家拥有浸染力的传感器企业之一，业余处置高端MEMS传感器和履行器、微体例等手艺与产物的开辟、出产及发卖。

　　洋人马结合测控创办于2017年，总部座落于福建，朔方总部座落于北京、南边总部座落于深圳，欧洲总部座落于法国巴黎。洋人马结合测控总人数近1000人，此中科研职员约600人，具有跨越500项专利，并以每一年30%以上的速率递加。

　　EET电子工程专辑（华夏）2021韶华夏传感器公司TOP10之一，采取IDM形式，用心于传感器芯片及相干调度芯片的研发、计算、创造和封测。

　　行为一家IDM芯片供给商，洋人马具有进步前辈的MEMS\ASIC\SoC和非硅基芯片的计算、创造、封测才能，鉴于这些进步前辈的焦点手艺，洋人马既也许零丁给客户供给高品格的芯片产物，你也可以供给响应的模组和办理计划，使用洋人马进步前辈的传感器、边沿计较产物和响应的开辟套件帮忙客户倏地地搭建起拥有监测与掌握功效的A-IoT体例。

　　华虹由原上海华虹NEC电子无限公司和上海宏力半导体创造无限公司归并而成，自扶植华夏第一条8英寸（200妹妹）集成电路出产线起步，华虹宏力在上海金桥和张江公有三座8英寸晶圆厂（华虹一厂、二厂及三厂），月产能约18万片。

　　在8英寸创造平台上，华虹杀青MEMS器件与尺度CMOS工艺及出产线的全兼容。已流片的产物包罗磁力计、加快率计、压力传感器等。

　　睿创微纳总部位于山东烟台，是处置公用集成电路、红外热像芯片及MEMS传感器计算与创造的企业。

　　2020年7月，与烟台开辟区签订和谈，扶植一条8英寸MEMS工艺线和一条化合物半导体工艺线。此中，化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件和功率器件；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等。⑻罕王微电子（IDM&代工）

　　罕王微电子是一家以MEMS传感器计算及创造出产为焦点的高科技中美合伙企业，总部位于辽宁省沈抚新区，系罕王团体控股子公司。

　　罕王微电子2016年收买美信旗下MEMS传感器营业，2018年建成海内首条8英寸纯MEMS范围化量产线，工艺才能涵盖MEMS芯片出产全过程，计算晶圆产能36万片/年。出产传感器包罗：陀螺仪、FTO惯性丈量单位、射频RF-MEMS及加快率、温度、湿度、压力、应力传感器等。

　　九、河北美泰（IDM）华夏电子科技团体第十三研讨所全资子公司，2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS尺度加工手艺及在高机能MEMS 器件中的利用”经过科技部构造的老手查收。

　　6英寸SOI MEMS尺度工艺和封装手艺用于MEMS陀螺仪、加快率计、震动传感器、碰撞传感器、MEMS光开关、VOA及压力传感器等高机能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸产线、厦门洋人马（IDM）

　　洋人马（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下洋人马结合测控（泉州）科技无限公司（FATRI UT1）创办于2017年，是洋人马MEMS高端传感器和芯片创造基地，占地70亩，修建面积20000㎡，拥有6000㎡的超净车间和进步前辈微纳米研讨尝试室，装备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和华夏进步前辈的MEMS器件加工平台。

　　洋人马19年11月取得朗润基金数万万A轮融资，20年一季度取得A+轮的1亿元软妹币融资，本年3月获B轮融资，成长敏捷，洋人马已成为海内MEMS范畴IDM芯片公司的鳌头，红外和压力传感器逐日产量也许到达几十万颗。

　　奥松电子创办于2003年，用心于MEMS半导体工艺手艺，是海内领先利用MEMS半导体工艺手艺出产传感器芯片的高新手艺企业，也是广东省MEMS范畴集研发、计算、创造、封装尝试、末端利用为一体的MEMS智能传感器全财产链（简称IDM）企业。

　　2019年奥松电子斥巨资制造MEMS半导体芯片出产线，一期工程污染车间总面积约2500平方米，设置装备摆设湿法洗濯区、百级干净度光刻区、千级干净度镀膜区、千级干净度刻蚀区、千级干净度离子注入区及景仰通道等。

　　2020年9月，广州奥松电子无限公司6英寸MEMS半导体传感器芯片出产线正式到场经营，凯旋量产出温湿度、流量、气体、差压、风速等传感器芯片。

　　奥松电子MEMS半导体出产线纳米MEMS半导体工艺制程，出产装备约占全部投资范围的70%。按照计划，2021年二期工程将建成350纳米制程工艺MEMS半导体出产线纳米制程工艺MEMS半导体出产线；总名目全数建成投产后cq9电子官网每个月流片范围将到达4万片，2021年8月，奥松电子官网颁布发表对外盛开MEMS芯片代工营业，包罗装备同享、手艺撑持、企业孵化等办事。

　　2021年4月奥松电子控股的全资子公司——奥松半导体（珠海）无限公司，将在珠海高新手艺财产开辟区扶植8英寸进步前辈MEMS特点半导体IDM财产基地名目。该名目建成后，将成为海内进步前辈的MEMS芯片及智能传感器财产集群，进步MEMS芯片的代工和量产才能。

　　诺思微体例位于天津，是一家无线装备射频前端MEMS滤波芯片办事商，其产物首要采取薄膜体声波谐振器(FBAR)手艺和硅衬底的微电机体例(MEMS)创造手艺，同时为无线射频滤波器、双工器、和多工器等供给办理计划。

　　诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆出产线英寸工艺研发线。厂房和研发中间总占空中积2.7万平方米。

　　2021年3月，国度要点研发方案“创造根底手艺与关头零件”要点专项名目“硅基MEMS压电薄膜及器件关头手艺与平台”的名目在诺思微体例启用，针对5G/6G无线通信、物联网等对射频滤波器、智能传感器提议新的手艺央浼，对杀青晶圆级硅基MEMS压电器件的大范围出产、解脱我国今朝关头MEMS压电器件受制于人的场合排场，有主要事理。

　　2021年8月终了4亿元融资，估计在一年内周全加快产能开释，达年产20亿颗滤波器芯片的产能范围。1三、科技（IDM&代工）

　　创办于2010年，总部在江苏张家港，扶植有完备的磁传感手艺——地道磁电阻（TMR）的磁应芯片产线。

　　科技的磁传感器晶圆代工场具有6英寸和8英寸MEMS晶圆产线，供给完备的磁传感器（AMR / GMR / TMR）开辟及晶圆创造办事（包罗计算、创造和尝试），年产10亿个TMR磁传感器。

　　2021年5月科技获4亿元融资，将用于对现有产线停止进级，可以或许进一步加强“自研、自产、手艺抢先”的焦点合作力。

　　1⑷湖南启泰传感科技（IDM）2006年景立，总部在湖南浏阳。启泰传感以王国秋传授为首的科研团队霸占了异质膜关头工艺与手艺，扶植海内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片出产线，是全球多数几家拥有金属溅射薄膜压敏芯片范围化出产才能的公司之一。

　　2019年8月该出产线杀青批量出产，年产压敏传感芯片50万颗，至2021年一期工程顺遂落成投产，用空中积35亩，扶植总用空中积2万多平米，传感器芯片年出产才能可达600万颗，传感器封装200万支，年产值可达10亿元。

　　二期名目在停止，估计落成后，传感器芯片产能将达2000万颗，传感器封装1000万支，年产值可达50亿元。

　　高德红外创建于1999年，总部位于武汉，具有8 英寸 0.25um 批产型 MEMS 出产线，是今朝海内唯逐一条自立可控且具有批产才能的非制冷红外焦立体探测器出产线 从低到高各种面阵规格产物型号批产才能。

　　武汉衍熙微器件具有天下第一条8寸体声波（BAW）量产线，拥有进步前辈的光刻、薄膜、蚀刻和封装装备，并成立立异自立开辟的产物出产过程。该产线首要产物有MEMS滤波器、双工器等。2018年，武汉衍熙微器件停止名目扩建，一期为租借现有厂房5600平方米，扶植3600平方米的无尘室车间；二期方案扶植约10000平方米的无尘室车间，用于夸大出产。

　　杭州士兰微1997年景立，是海内范围最大的集成电路芯片计算与创造一体（IDM）的企业之一。自2010年开端，士兰微电子到场洪量资本，经过对加快率传感器、地磁传感器、压力传感器等一系传记感器产物的开辟，在6吋、8吋芯片出产线上杀青了批量创造才能，并成立本人的MEMS封测出产线，发轫走通了系传记感器的IDM成长之路，已请求相干发现专利百余项。今朝士兰微MEMS传感器产物系列富厚，有：MEMS加快率计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高机能MEMS话筒、数字三合一传感器、心律传感器、高机能气压压力传感器等。

　　2021年7月30日，士兰微收回财产重组通告，引入国度集成电路财产投资基金股分无限公司，召募11亿元。

　　姑苏固锝创办于1990年，是海内二极管龙头企业，旗下子公司明锐光电、明皜传感、艾特曼电子等涉足MEMS传感器IDM营业。

　　2010年固锝收买明锐光电，明锐光电首要处置MEMS-CMOS三维集成创造平台手艺及八寸晶圆级封装手艺及产线年景立明皜传感，处置微电机传感器芯片和器件的工艺开辟、计算。2021年8月，明皜传感获小米投资，备案本钱由 6443.64 万元软妹币增添至 7085.19 万元软妹币，增幅为 9.96%。

　　2012年景立艾特曼电子，首要处置晶圆级MEMS器件封装工艺及相干焦点手艺的开辟并供给代工办事，办事范畴涵盖破费类电子产物、汽车电子、产业掌握、家电范畴惯性传感器（加快率计、陀螺仪）和红别传感器等。

　　2021年6月，姑苏固锝与华景传感合伙创办华锝半导体，愿景是将华景传感的MEMS话筒芯片计算手艺与姑苏固锝的封测手艺及出产经历相联合，慢慢杀青MEMS话筒在高端范畴的入口替换。

　　同月，华锝MEMS声学传感器及射频滤波器封测名目落户姑苏。名目一期产线将成立契合华为系统尺度的MEMS声学传感器的封测基地，首要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入海内初创MEMS话筒及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺末尾一路关头工艺，华锝将具有自立晶圆级封装相干自立手艺常识产权。1九、姑苏纳米城（中试线）

　　姑苏纳米城6英寸MEMS中试线由姑苏纳米科技成长无限公司（姑苏产业园区当局出资）扶植，是江苏省“12五”庞大科技平台名目。

　　姑苏6英寸微纳电机创造（MEMS）中试线采取墟市化、全盛开的运作形式，首要展开MEMS产物工艺研发、MEMS加工、部门封装尝试、专利经营、装备租借、超净园地租借、工艺手艺训练等十多项业余办事，今朝已凯旋导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产物

　　是海内首条硅基4/6英寸兼容MEMS中试代工平台，超净范围海内一流；装备了国际知名一流装备的中试代工线，中试出产才能可达月产传感器十万只，产物的尝试情况也居海内进步前辈程度。2一、中科院微电子所（中试线年由中科院微电子所成立的MEMS研发平台，其8英寸MEMS中试线%；针对三轴重力加快率计、鉴于氧化钒的红外图象传感器、医用CT中X-treat探测、鉴于薄膜体声波滤波器（FBAR）、MEMS红外探测器等产物。

　　2二、上海微手艺工研院（中试线年，上海微手艺产业研讨院（以内简称“工研院”）建立的海内首条，环球抢先，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式到场经营，月产量将到达3000件。

　　该产线摆设了MEMS、硅光子、RF、硅基threesome-V族、3D集成、MR磁传感、功率及生物等相干工艺和量测装备。cq9电子官网行为海内第一条进步前辈8英寸研发中试线英寸研发中试线不但可承当产物研发、小数量出产、手艺训练、装备考证等办事，有助于晋升研发的凯旋率。

　　本年6月，上海微手艺工研院颁布发表将8英寸线每一年四分之一的总机时帮助给上海大学，用于微电子学院讲授实施，为期5年。2三、中科院上海微体例所（研发平台）

　　华夏迷信院上海微体例所现有的MEMS手艺平台由微体例加工平台和微体例封装平台两部门构成，划分位于上海微体例所漕河泾园区内主楼的一层和二层污染间内。

　　全部平台具有100多台套进步前辈的大中型装备，总价钱达1.1亿元，也许终了从微芯片创造、芯片封装、器件尝试、微体例集成等成套工艺，为微体例研讨供给无力的手艺保险。来历：本日半导体